ZhenAn, Cad iad na Modhanna Bunúsacha a Úsáidtear go Coitianta Chun Tástáil Gráin Ábhar Sprice?

ZhenAn, cad iad na modhanna bunúsacha a úsáidtear go coitianta le haghaidh tástála gráin sprioc-ábhar?

Go hiondúil is ilchriostalach iad na sprioc-ábhair, le méideanna gráin ag dul ó mhiocrón go milliméadair. Dá mhíne na gránaigh, is mó an limistéar teorann gráin, agus is mó an tionchar ar fheidhmíocht. Maidir leis an spriocábhar céanna, bíonn ráta sputtering níos tapúla ag spriocanna le gráinní mín ná mar a bhíonn ag spriocanna le gráinní garbha. Táirgeann spriocanna le héagsúlachtaí gráin níos lú (dáileadh aonfhoirmeach) dáiltí tiús níos aonfhoirmí i scannáin sputtered. D'aimsigh taighde, má rialaítear méid gráin sprioc tíotáiniam faoi bhun 100 μm, agus go gcoimeádtar an éagsúlacht i méid gráin laistigh de 20%, is féidir feabhas a chur ar chaighdeán an scannáin sputtered mar thoradh air. Feabhas suntasach.

Trí mhodh bhunúsacha le haghaidh tástála ar mhéid an ghráin sprice
1. Modh comparáide: Ní éilíonn an modh comparáide gráinní nó idircheapanna a chomhaireamh. Nuair a dhéantar comparáid le sraith chaighdeánach de chairteacha rátála, taispeánann measúnú ar mhéid gráin ag baint úsáide as an modh comparáide méid áirithe diall (leibhéil ±0.5). Is gnách go mbíonn in-atáirgtheacht agus in-atáirgtheacht na luachanna measúnaithe ±1 leibhéal.

2. Modh achair: Déanann an modh achair líon na ngrán laistigh de limistéar aitheanta a chomhaireamh agus úsáideann sé líon na ngrán in aghaidh an aonaid achair chun an grád méid gráin a chinneadh. Is feidhm den mhéid gráin ríofa é cruinneas an mhodha seo, agus le comhaireamh cuí, is féidir cruinneas ± 0.25 leibhéal a bhaint amach. Tá torthaí an mhodha limistéir neamhchlaonta, le hin-atáirgtheacht níos lú ná ±0.5 leibhéal. Is í an eochair chun méid gráin a chinneadh ag baint úsáide as an modh achair ná gránaigh a chomhaireamh a shainíonn teorainneacha na ngránach go soiléir.

3. Modh idirghabhála: Déantar an comhaireamh idircheapa a ríomh trí líon na n-idircheapanna a chomhaireamh nuair a thrasnaíonn mír líne tástála (nó greille) d'fhad aitheanta na teorainneacha gránach. Cinntear an grád méid gráin ag baint úsáide as líon na n-idircheapanna in aghaidh an aonaid fad. Feidhm de líon na n-idircheapanna nó idircheapa a ríomhtar is ea cruinneas an mhodha idircheapa, agus is féidir é a bhaint amach trí anailís staitistiúil éifeachtach. ±0.25 cruinneas leibhéal. Tá torthaí tomhais an mhodha idirghabhála saor ó chlaonadh, agus tá an in-atáirgtheacht agus an in-atáirgtheacht níos lú ná leibhéal ±0.5. Maidir leis an leibhéal céanna cruinnis, ní gá pointí idirghabhála nó uimhreacha idircheapa a mharcáil go beacht don mhodh idirghabhála, agus mar sin tá sé níos tapúla ná an modh achair.