Cad iad na dúshláin a bhaineann le spriocanna tungstain a úsáid?

Leáphointe ard: Éilíonn an leáphointe ard de tungstain (3422 céim) go n -oibreofaí an córas sputtering ag teochtaí arda. Éilíonn sé seo trealamh níos láidre agus ionchur fuinnimh níos airde. Chun an tsaincheist seo a shárú, tá forbairt ar ardteicneolaíochtaí sputtering le meicníochtaí téimh agus fuaraithe feabhsaithe. Mar shampla, baintear úsáid as téamh ionduchtaithe nó foinsí RF ardchumhachta chun an sprioc a théamh go héifeachtúil, agus úsáidtear córais fhuaraithe chun cinn chun teocht fhoriomlán an tseomra sputtering a rialú.

Strus Scannán: Is féidir le scannáin tungstain strusanna bunúsacha a bheith acu, rud a fhéadann an scannán a bhriseadh nó a scagadh, go háirithe nuair a chuirtear i dtaisce iad faoi choinníollacha sonracha nó ag tiús sonrach. Chun na strusanna seo a rialú, ní mór paraiméadair phróiseála amhail cumhacht sputtering, sreabhadh gáis, agus teocht an tsubstráit a bharrfheabhsú go cúramach. Ina theannta sin, is féidir cóireálacha anála iar-leagain a úsáid chun strus inmheánach an scannáin a mhaolú.

Saincheisteanna Nasctha Sprioc: Mar gheall ar chruas ard agus ar bhréige spriocanna tungstain, tá sé deacair ceangal go héifeachtach leis an bpláta tacaíochta. Is céim riachtanach é seo le haghaidh diomailt teasa éifeachtach agus cobhsaíocht mheicniúil le linn an phróisis sputtering. Tá iniúchadh á dhéanamh ar theicnící nasctha nua, mar shampla úsáid a bhaint as greamacháin speisialaithe nó modhanna clampála meicniúla feabhsaithe chun banna láidir agus iontaofa a chinntiú idir an sprioc tungstain agus an pláta tacaíochta.